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關(guān)鍵詞：化學(xué)氣相沉積爐CVD系統CVI沉積爐
臥式化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）
臥式化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）
產(chǎn)品描述：
臥式化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）主要用于以碳氫氣體（天然氣、丙烷、丙烯）為碳源的預制體氣相滲透增密處理
應用范圍：
炭/炭剎車(chē)盤(pán)、炭炭板材、晶體爐坩堝、熱壓模具、高溫發(fā)熱體/緊固件、熱場(chǎng)材料等

臥式化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）技術(shù)特征

電阻爐可采用多溫區獨立控溫，溫度均勻性好；

采用智能壓力調控，壓力波動(dòng)??；

全封閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強；

多通道工藝氣路，流程均勻，無(wú)沉積死角，沉積效果好；

多級高效尾氣處理系統，環(huán)境友好，能高效收集焦油及副產(chǎn)物，易清理；

可選配外循環(huán)快冷系統，降溫時(shí)間短，生產(chǎn)效率高；

臥式化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）產(chǎn)品規格

參數\型號HCVD-060609-CHCVD-101015-CHCVD-121220-CHCVD-151530-CHCVD-152023-CHCVD-252035-C
工作區尺寸
W×H×L（mm）		600×600×9001000×1000×15001200×1200×20001500×1500×30001500×2000×23002500×2000×3500
最高溫度（℃）150015001500150015001500
溫度均勻性（℃）±5±7.5±10±10±10±10
極限真空度（Pa）1-1001-1001-1001-1001-1001-100
壓升率（Pa/h）0.670.670.670.670.670.67
加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻電阻
以上參數可根據工藝要求進(jìn)行調整，不作為驗收依據，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準。

臥式化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）配置選擇

結構形式：臥式-單開(kāi)門(mén)/雙開(kāi)門(mén)；立式-上出料/下出料

爐門(mén)鎖緊方式：手動(dòng)/自動(dòng)

爐殼材質(zhì)：全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì)：碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈

加熱器、馬弗：石墨/CFC/金屬

熱電偶：K/N/C/S分度號

電源：KGPS/IGBT(僅適用于中頻加熱)

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碳基復合材料熱工裝備

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