電阻爐可采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;
電阻爐采用頂立科技專(zhuān)屬超高溫、大電流引電技術(shù),能在高溫條件下長(cháng)時(shí)間穩定使用,也可采用感應加熱方式;
可選配全密閉馬弗,密封效果好,抗污染能力強;
多級高效尾氣處理系統,環(huán)境友好,易清理;
適于工藝氣氛:真空/CH4/NH3/H2/N2/Ar/空氣。
參數\型號 | HVP-060609 | HVP-101015 | HVP-121225 | HVP-161633 |
工作區尺寸 W×H×L(mm) | 600×600×900 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2500 | 1600×1600×3300 |
最高溫度(℃) | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 |
溫度均勻性(℃) | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±15 |
極限真空度(Pa) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
壓升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數可根據工藝要求進(jìn)行調整,不作為驗收依據,具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準。
結構形式:臥式-單開(kāi)門(mén)/雙開(kāi)門(mén);立式-上出料/下出料
爐門(mén)鎖緊方式:手動(dòng)/自動(dòng)
爐殼材質(zhì):內層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì):碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈
加熱器、馬弗材質(zhì):石墨/CFC
熱電偶:C分度號
電源:KGPS/IGBT(僅適用于中頻加熱)